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兴业证券-电子行业:3D NAND产业格局&长江存储对国产设备的弹性测算-191102.pdf
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兴业证券-电子行业:3D NAND产业格局&长江存储对国产设备的弹性测算-191102

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  在长江存储截至目前可查的设备采购清单中,国内设备厂商在刻蚀机、物理气相沉积设备(PVD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、立式炉设备、清洗机设备、干法去胶设备、化学机械抛光设备等主要领域都实现了突破,代表性的企业包括刻蚀设备龙头A公司、北方华创、盛美半导体、Mattson、沈阳拓荆、、华海清科等;
  单个领域实现突破的设备厂商有:
  刻蚀设备龙头A公司的CCP刻蚀设备、盛美半导体的单片式清洗设备、华海清科的化学机械抛光设备和沈阳拓荆的PECVD设备;
  多个领域实现突破的设备厂商有:
  北方华创的立式炉设备、PVD设备、ICP刻蚀设备、槽式清洗设备;
  Mattson的CCP刻蚀设备和干法去胶设备;
  尚未实现突破的领域包括光刻设备、涂胶显影设备、ALD设备、离子注入设备、过程控制设备、晶囿测试机、探针台等;
  我们假设,目前已经采购的设备对应的是20k/月的产能,且未来随着长江存储未来的扩产,设备的需求量线性的增加,国内厂商可以覆盖的工序会逐渐增多,细分领域的设备占比预期会进一步提升;
  经我们详细测算,预测订单提升较多的主要包括:刻蚀设备龙头A公司、北方华创、盛美半导体、Mattson;
  重点关注:刻蚀设备龙头A公司、北方华创、盛美半导体、Mattson;
  建议关注:沈阳拓荆、华海清科、睿励科学;
  风险提示:下游晶囿厂扩产不达预期,设备厂商新产品研发进度低于预期;

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